半導体用マスク座標測定装置MMXを初受注

2024年5月2日 - Mycronic AB（マイクロニック、本社：スウェーデン、日本法人：マイクロニックテクノロジーズ株式会社、東京都調布市、代表取締役社長：呉 健治）は本日、フォトマスク座標測定装置MMXをアジア地域の半導体の新規顧客から受注したことを発表しました。受注金額の価格帯は200～400万USドルで、2024 年第3 四半期に納入予定です。

フォトマスク座標測定装置MMX は、描画パターンの位置を測定し、製造される半導体フォトマスクの品質保証を可能にする新装置で、半導体用マスク描画装置 SLX のプラットフォームとマイクロニックの既存のディスプレイ用フォトマスク座標測定装置 Prexision-MMS をベースにしています。MMXには最先端の光学部品およびソフトウェアに加え、最新のユーザーインターフェースや解析ツールが搭載されています。MMXは成熟した半導体ノードをターゲットとしており、古いレガシー装置からの置き換えや将来の量産拡大に最適な柔軟性を提供します。

マイクロニック 描画装置担当上級副社長Charlott Samuelssonのコメント：
「弊社の新製品である半導体用マスク座標測定装置の最初のご注文を頂き嬉しく思います。弊社の製品ライン全体にわたる相乗効果により、信頼性と生産性においてお客様の最も高い要求を満たすプラットフォームが保証されます。」

マイクロニックの PG 事業部はディスプレイ製造用および半導体製造用のマスク描画装置とマスク座標測定装置を提供しています。