半導体用マスク座標測定装置MMXを受注

2025年3月3日 - Mycronic AB（マイクロニック、本社：スウェーデン、日本法人：マイクロニックテクノロジーズ株式会社、東京都調布市、代表取締役社長：呉 健治）は本日、フォトマスク座標測定装置MMXをアジア地域の既存顧客から受注したことを発表しました。受注金額の価格帯は250～350万USドルで、2025年第3四半期に納入予定です。

フォトマスク座標測定装置MMX は、描画パターンの位置を測定し、製造される半導体フォトマスクの品質保証を可能にする装置で、半導体用マスク描画装置 SLX のプラットフォームとマイクロニックの既存のディスプレイ用フォトマスク座標測定装置 Prexision-MMS をベースにしています。MMXには最先端の光学部品およびソフトウェアに加え、最新のユーザーインターフェースや解析ツールが搭載されています。MMXは成熟した半導体ノードをターゲットとしており、旧式のレガシー装置からの置き換えに最適な柔軟性を実現するとともに、将来の量産拡大に対応する生産能力を提供し、ハイエンド測定装置の負荷を軽減します

マイクロニック 描画装置担当上級副社長Charlott Samuelssonのコメント：
「2024年4月に発表した弊社の最新半導体用マスク座標測定装置の新たなご注文を頂き、大変嬉しく思います。MMXは性能と生産性に関するお客様の高い期待に応える装置です。弊社はMMXプラットフォームへの投資を継続し、さらなる顧客価値の創出を目指します。」

マイクロニックの PG 事業部はディスプレイ製造用および半導体製造用のマスク描画装置とマスク座標測定装置を提供しています。